Κεραμικό ρομποτικό βραχίονα Semiconductor Manufacture
Τα κεραμικά ρομποτικά όπλα του πυριτίου στην κατασκευή ημιαγωγών είναι πραγματικά προχωρημένα και σούπερ σημαντικά εργαλεία. Έχουν πολλά εκπληκτικά χαρακτηριστικά που τα καθιστούν απολύτως απαραίτητα σε αυτόν τον κλάδο.
Είναι υπέροχα να αντισταθούν σε υψηλές θερμοκρασίες. Έτσι, μπορούν να λειτουργούν σταθερά κατά τη διάρκεια των βημάτων υψηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή ημιαγωγών, όπως όταν πρόκειται για επιταξιακή ανάπτυξη και εμφύτευση ιόντων. Δεν θα παραμορφωθούν ή δεν έχουν υποστεί ζημιά. Η χημική τους αντίσταση είναι επίσης εξαιρετική. Μπορούν να χειριστούν τα διαβρωτικά χημικά και αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία παραγωγής. Αυτό εξασφαλίζει ότι το περιβάλλον παραγωγής παραμένει καθαρό και σταματά τη διάβρωση και τη μόλυνση από το να συμβεί.
Όταν πρόκειται για εφαρμογές, είναι πραγματικά σημαντικές για τη μεταφορά πλακιδίων. Μπορούν να πάρουν τα πλακίδια και να τα βάλουν στη σωστή θέση ανάμεσα σε διαφορετικά κομμάτια εξοπλισμού επεξεργασίας με ακρίβεια και σταθερά. Αυτό βοηθά να βεβαιωθείτε ότι οι γκοφρέτες είναι καλής ποιότητας. Χρησιμοποιούνται επίσης ευρέως στην επεξεργασία ακριβείας. Μπορούν να ελέγξουν με ακρίβεια την κίνηση και τη θέση των εργαλείων επεξεργασίας, γεγονός που πληροί τις απαιτήσεις υψηλής ακρίβειας και σταθερότητας για τη χάραξη και τη λιθογραφία. Επιπλέον, είναι καλό για περιβάλλοντα καθαρού χώρου επειδή δεν εκπέμπουν σωματίδια ή απελευθερώνουν ακαθαρσίες όταν εργάζονται. Αυτό μειώνει τον κίνδυνο να μολυνθούν τα πλακίδια.
Εφαρμογές στην κατασκευή ημιαγωγών
Μεταφορά πλακιδίων : Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, πρέπει να μεταφερθούν τα πλακίδια μεταξύ διαφορετικού εξοπλισμού διεργασίας. Το κεραμικό ρομποτικό βραχίονα του καρβιδίου του πυριτίου μπορεί να πάρει με ακρίβεια και σταθερά και να τοποθετήσει πλακίδια με μεγάλη ακρίβεια και αξιοπιστία, αποφεύγοντας τη θραύση και τις γρατζουνιές και εξασφαλίζοντας την ποιότητα των πλακών.
Επεξεργασία ακριβείας: Σε ορισμένες διαδικασίες επεξεργασίας ακριβείας, όπως η χάραξη και η λιθογραφία, ο ρομποτικός βραχίονας πρέπει να έχει εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα. Το κεραμικό ρομποτικό βραχίονα του καρβιδίου πυριτίου μπορεί να ικανοποιήσει αυτές τις απαιτήσεις και μπορεί να ελέγξει με ακρίβεια την κίνηση και τη θέση του εργαλείου επεξεργασίας για να εξασφαλίσει την ακρίβεια και τη συνοχή της επεξεργασίας.
Cleanroom Περιβάλλον: Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτεί ένα περιβάλλον καθαρού χώρου με εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα σωματιδίων και ακαθαρσιών. Τα κεραμικά ρομποτικά βραχίονα του πυριτίου δεν ρίχνουν σωματίδια ή απελευθερώνουν ακαθαρσίες κατά τη διάρκεια της λειτουργίας, γεγονός που βοηθά στη διατήρηση της καθαριότητας του καθαρού χώρου και μειώνει τον κίνδυνο μόλυνσης από το πλακίδιο.
Μελλοντικές τάσεις ανάπτυξης
Υψηλότερη ακρίβεια και ταχύτητα: Με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, οι απαιτήσεις για την ακρίβεια και την ταχύτητα των ρομποτικών όπλων αυξάνονται επίσης. Τα μελλοντικά κεραμικά ρομποτικά όπλα του καρβιδίου του πυριτίου θα συνεχίσουν να βελτιώνονται σε αυτές τις πτυχές για να καλύψουν τις ανάγκες των πιο προηγμένων διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών.
Ευφυής και αυτοματοποιημένος: Ο συνδυασμός κεραμικών ρομποτικών βραχιόνων και προχωρημένων αισθητήρων και συστημάτων ελέγχου των προχωρημένων αισθητήρων και ελέγχου θα τους κάνει πιο έξυπνους και αυτοματοποιημένους. Θα είναι σε θέση να αισθανθούν αυτόματα το περιβάλλον και τα πλακίδια, να λαμβάνουν αποφάσεις και προσαρμογές και να βελτιώσουν την αποδοτικότητα και την ποιότητα της παραγωγής.
Πολυλειτουργική ενσωμάτωση: Εκτός από τις βασικές λειτουργίες της μεταφοράς και της επεξεργασίας των πλακιδίων, τα μελλοντικά κεραμικά ρομποτικά όπλα του πυριτίου μπορεί να ενσωματώσουν περισσότερες λειτουργίες, όπως η επιθεώρηση, ο καθαρισμός και η συσκευασία, για να σχηματίσουν ένα πολυλειτουργικό ολοκληρωμένο σύστημα και να βελτιώσουν περαιτέρω το επίπεδο αυτοματισμού και ενσωμάτωσης της παραγωγής ημιαγωγών.